第1624章 超分辨率光刻
凑近，几乎把脸贴到了光学平台上方，仔细端详着：
一块看似平平无奇、表面光洁的平面透镜。
以及，紧挨在它后面放置的一块……半透明的平板？
“就是它？”栾文杰指着那块平板，又看了看远处的成像屏。
“不不不……”常浩南摇头，“后面这个是成像平板，我说的另一块透镜，实际上是指这个系统中的气体。”
栾文杰似乎有点明白了：
“所以刚才的光，是先经过透镜照射到这块平板上成像，然后平板上的像……再被那个成像屏接收并显示出来？”
“正是如此。”常浩南点头赞许栾文杰的敏锐观察，“当然那个成像屏也可以阻挡光路，以免高强激光束射出测试范围，对其它设备或者人造成影响。”
栾文杰下意识伸出手，想要在透镜和平板旁边比划一下。
但旋即想起这东西恐怕不能乱碰，于是又缩了回去问道：
“那为什么要把成像平板紧贴着透镜放？”
“实际上是有缝隙的，大约1.5微米。”常浩南用手势比划了一个极其微小的距离，“只是肉眼难以分辨罢了。”
他戴上特制的防静电手套，极其小心地取下了那块位于透镜和平板之间的核心平板——那才是真正的成像元件。
然后，开始回答对方最开始的问题。
“衍射极限之所以存在，根本原因在于传统透镜无法将光聚焦到一个小于半波长的区域。”
常浩南将那块特殊的平板捏手中，展示到栾文杰面前：
“但我们的思路是，让光线在一组折射率绝对值相等但符号相反的材料界面上发生‘负折射’。”
他指向透镜和手中的平板：
“具体说，就是让从目标物体上发散出来的光线，在我们这块由负折射率材料制成的平板上实现聚焦，理论上就能绕过衍射极限的束缚，真正实现完美成像。”
说话间，目光扫过屏幕上那不太清晰的173nm分辨率靶标图案。
于是又补充道：
“当然，实际操作中，材料的虚部损耗和界面阻抗不匹配的问题会引入损耗，影响倏逝波的传输距离和最终的分辨力，所以还做不到理论上的完美成像……但把有效成像分辨率压缩到衍射极限的一半左右，就像刚才看到的那样，还是非常轻松的。”
“如果使用频谱宽度更窄、更纯净的光源，结合材料工艺的进一步优
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